Кэш-память первого уровня 32 Кбайт: 16 К данные, 16 К инструкции
Кэш-память второго уровня от 128 Кбайт до 16 Мбайт
на материнской плате
Набор команд RISC Alpha
Параллелизм 2 инструкции за такт
Тактовая частота 200–300 МГц
Частота шины 16–33 МГц
Разъём 431 контакт
Напряжение 3,3 В
Выделяемая мощность до 36 Вт
Предельная температура 90 °C
Содержит улучшенный математический модуль, дающий выигрыш в операциях деления
до 50 %.
Модель 21064-275-PC с тактовой частотой 275 МГц содержала упрощённый модуль
управления памятью и предназначалась для использования с Microsoft Windows NT
и аналогичных ей в управлении памятью.